Azken urteotan, nire herrialdeko sentsoreen teknologia azkar garatzen ari da, eta aplikazio-eremuak ere zabaltzen ari dira. Neurketa teknologia modernoen, teknologia berriak, material berriak eta prozesu berriak etengabe sortzen ari dira presio sentsoreen arloan.
Presio-sentsorea presio seinaleak hautemateko eta seinale elektrikoetan bihurtzen dira zenbait arauen arabera. Ekoizpen, industria eta aeroespazialen eremuetan oso erabilia da. Tenperatura altuko olioen eta motor-barrunbeetan. Presio-neurketa gero eta garrantzitsuagoa da, eta presio sentsore arruntetan erabilitako materialek tenperatura jakin bat gainditzen dute (adibidez, silikonazko presioaren sentsoreen tenperatura 120 ° C baino txikiagoa da). ° C) huts egingo du, presioaren neurketa porrota sortuz. Hori dela eta, tenperatura handiko presio-sentsorea oso ikerketa norabide garrantzitsua bihurtzen da.
Tenperatura altuko sailkapenaPresio sentsoreak
Erabilitako material desberdinen arabera, tenperatura handiko presio sentsoreen arabera, tenperatura handiko presio sentsoreetan, SIC tenperatura handiko presio sentsoreetan banatu daiteke, SOS (silizioa isolatzailearen gainean) Silicon On Sapphire) Silicon-Sapphire presio sentsoreak, tenperatura handiko presio sentsoreak eta beste mota desberdinak. Soi tenperatura handiko presio sentsoreak oso aproposak dira. Honako hauek, batez ere, SOI tenperatura handiko presio sentsorea aurkezten du.
Soi tenperatura handiko presio sentsorea
Serio tenperatura handiko presio sentsoreen garapenean, batez ere SIO SURICon-en sormenaren gaineko silizioa da, SIO2 geruza isolatzailearen artean eratutako materialaren erdieroaleari dagokionez. Gailuaren geruzaren eta substratuaren geruzaren arteko isolamendua gaitzen du Gailuaren fidagarritasuna. Gainera, SOI gailuaren geruzaren tenperatura altuko ezaugarriak direla eta, tenperatura handiko presio sentsoreak prestatzeko material aproposa bihurtzen da.
Gaur egun, SOI tenperatura handiko presio sentsoreak atzerrian garatu dira, eta lan-tenperatura -55 ~ 480 ºC-koa da. Frantziako Leti Institutuak garatutako SOI tenperatura-sentsoreak 400 ºC baino gehiagoko tenperatura ere badu. Horrez gain, Fatri Fatri Fatri teknologia aurreratuen ikerketa institutuak ere lotutako ikerketa lana egiten ari da, eta egungo proiektua manifestazio fasean sartu da.
Soi tenperatura handiko presio sentsorearen printzipioa
Printzipioz, batez ere, tenperatura handiko presio sentsoreak, batez ere, siliziozko silizioaren eraginez funtzionatzen du. Kristalaren silizioaren gainean. Era berean, garraiolarien mugikortasunean aldaketa bat sortzen da, silizioaren kristalaren erresistentziaren aldaketa bat da. SOI gailuen goiko geruza gari-zubi bat eratzeko 2. irudian (A) irudian erakusten den bezala; Presioaren atzeko barrunbea SOI substratuaren geruzan grabatuta dago presioaren egitura sentikorra osatzeko.
2. irudia (a) gari-zubia
Presioaren sentikorra airearen presioa jasaten duenean, piezakoresistaren erresistentzia aldatzen da eta horrek aldatzen du irteera-tentsioaren irteera aldatzea eta presioaren balioa irteerako tentsioaren eta piezoresistorraren erresistentziaren balioaren bidez neurtzen dela.
Tenperatura handiko presio handiko sentsorearen fabrikazio prozesua
SOI tenperatura handiko presio sentsoreen prestaketa prozesuak MEMS prozesu ugari dakar. Gako urrats batzuk laburki aurkezten dira hemen sentsorearen prozesua ulertzeko, batez ere, piezoresistor prestaketa, metalezko prestaketa, presio sentikorreko zinema prestatzea eta presio ganbera ontziak barne.
Aldarrikapenak prestatzeko gakoa dopinaren kontzentrazioaren kontrolean eta ondorengo grabatzeko moldaketa prozesuaren optimizazioan dago; Metalezko berun geruza batez ere gari-zubiaren konexio gisa balio du; Presio sentikorreko filmak prestatzeak batez ere silizioaren grabaketa sakonean oinarritzen da; Barrunbearen ontziak normalean aldatu egiten dira presio-sentsorearen aplikazioaren arabera,
Egungo tenperatura handiko presio handiko sentsoreek ezin baitute tenperatura handiko petrolio putzu bereziak eta aero-motorrak, esaterako, tenperatura handiko presio sentsoreen etorkizuneko ikerketak ezinbestekoak izan dira. Bere egitura berezia eta tenperatura handiko ezaugarriak, tenperatura handiko presio sentsoreetarako material apropos bihurtu dira. SOI tenperatura handiko presio sentsoreei buruzko etorkizuneko ikerketak tenperatura handiko ingurune gogorretan sentsoreen egiazko egonkortasuna eta auto-berotasuna konpontzeko eta presio sentsoreen zehaztasuna hobetuz. alderdi.
Noski, adimen adimendunaren etorrerak tenperatura handiko presio sentsoreak ere behar ditu diziplina anitzeko beste teknologia batzuekin konbinatuta, auto-kalte-ordainak, auto-kalibrazioa eta sentsoreari buruzko informazioa lortzeko, tenperatura handiko ingurumen-presio konplexua sentitzeko eginkizuna hobetzeko. .
Post ordua: MAR-03-2023